Präzisionskreuztische für hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität

V-738: Hochpräzisions-Kreuztisch mit magnetischem Direktantrieb und freier Apertur

V-738: Hochpräzisions-Kreuztisch mit magnetischem Direktantrieb und freier Apertur

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Optische Inspektionsaufgaben, Laserschneiden oder -markieren, Waferbearbeitung, aber auch industrielle Messtechnik und Mikroskopie verlangen nach Positioniersystemen, die hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität bieten und möglichst schnell sind, um hohe Durchsatzraten zu erreichen. Um für die unterschiedlichen Anwendungen passende Lösungen anbieten zu können, hat Physik Instrumente (PI) gleich zwei Produktlinien unterschiedlich motorisierter Kreuztische im Programm.

Die kompakten Positioniersysteme arbeiten in X- und Y-Richtung mit Verfahrwegen von 100 bis 300 mm, erreichen Geschwindigkeiten bis 500 mm/s und positionieren mit hoher Wiederholgenauigkeit (unidirektional bis 0,05 µm). Integrierte, hochauflösende Linearencoder messen die Position direkt an der Plattform; Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformationen beeinflussen dadurch die Messung nicht. Außerdem minimiert das plane Design mit flachem Profil Stapelfehler und erhöht die Steifigkeit. Versionen mit 100 mm Stellweg haben zudem in der Mitte eine große Apertur, die Proben oder Werkstücke von oben oder unten zugänglich macht.

Angesteuert werden die Kreuztische über PI-Controller oder ein spezielles Steuerungsmodul des Tochterunternehmens ACS Motion Control, das eine ereignisbasierte Triggerung zur Steuerung eines Lasers oder Messwerkzeugs in Korrelation mit einem Bewegungsmuster ermöglicht.

Antriebe für unterschiedliche Anforderungen

Treibende Kraft der Kreuztische sind entweder Linearantriebe (V-731, V-738 und V-741) oder Schritt- bzw. DC-Motoren (L-731, L-738 und L-741). Die dreiphasigen magnetischen Linearantriebe verzichten auf mechanische Bauteile im Antriebsstrang und übertragen die Antriebskraft ohne Reibung direkt auf die Bewegungsplattform. Dadurch sind Geschwindigkeiten bis 500 mm/s möglich. Die eisenlosen Motoren eignen sich besonders für Positionieraufgaben mit höchsten Ansprüchen an Präzision, da es keine unerwünschten Wechselwirkungen mit den Permanentmagneten gibt. Dies ermöglicht einen ruckfreien Lauf auch bei niedrigsten Geschwindigkeiten, bei hohen Geschwindigkeiten treten keine Vibrationen auf.

Die Kreuztische L-731, L-738 und L-741 arbeiten mit Geschwindigkeiten bis 90 mm/s. Als Antrieb kommen hier entweder Schritt- oder DC-Motor-Spindelantriebe infrage. Die zweiphasigen Schrittmotoren erzeugen auch bei kleinen Geschwindigkeiten ein hohes Drehmoment; die DC-Motor-Varianten empfehlen sich für Anwendungen, die hohe Laufruhe bei höherer Geschwindigkeit erfordern.

Weiterführende Informationen zu den Spezifikationen der verschiedenen Kreuztische finden Sie auf den Produktseiten:

V-731  V-741  V-738 mit Apertur

L-731  L-741  L-738 mit Apertur

Veröffentlicht am: 28. Oktober 2019
Kategorie: Produktionstechnik