Nanopositioniersysteme in der Automatisierungstechnik: Digitaler Piezocontroller mit EtherCAT®

Digitale Mehrkanal-Piezocontroller mit EtherCAT®-Schnittstelle für den Einsatz piezobasierte Nanopositioniersysteme in der industriellen Automatisierung. (Quelle: PI)

Digitale Mehrkanal-Piezocontroller mit EtherCAT®-Schnittstelle für den Einsatz piezobasierte Nanopositioniersysteme in der industriellen Automatisierung. (Quelle: PI)

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Im industriellen Umfeld gibt es immer mehr Anwendungen für hochpräzise, piezobasierte Positioniersysteme; typische Beispiele dafür liefert die Halbleiterfertigung. Als Lösungsanbieter für Antriebstechnik und Positioniersysteme bietet Physik Instrumente (PI) deshalb den Piezocontroller E-727 in einer neuen Variante an.

Der digitale Controller lässt sich jetzt mit allen industriellen Steuerungen von ACS Motion Control über EtherCAT® betreiben und kann damit als „intelligenter Treiber“ ein-, zwei- oder dreiachsige piezobasierte Nanopositioniersysteme in die Automatisierungsumgebung integrieren, unabhängig davon, ob diese mit kapazitiven, piezoresistiven oder Dehnungssensoren arbeiten.

Ein für den Piezobetrieb optimierter P-I-Regler mit zwei Notchfiltern ermöglicht eine hohe Regelbandbreite (20 kHz). Intelligente Regelalgorithmen minimieren die Einschwingzeiten, dadurch lassen sich Wiederholgenauigkeiten bis in den Sub-Nanometer-Bereich erreichen. Weitere Merkmale des Digitalcontrollers sind eine Mechanik- und Elektronik-Linearisierung mittels Polynomen 4. Ordnung, ein integrierter Datenrekorder, ein ID-Chip für eine schnelle Inbetriebnahme und Austauschbarkeit der Systemkomponenten sowie eine unterlagerte, programmierbare Driftkompensation. Optional bietet der E-727 eine dynamische digitale Linearisierung. Diese DDL-Funktion senkt Phasenverschiebung und Bahnfehler bei dynamisch-periodischen Anwendungen auf ein nicht wahrnehmbares Maß. Das ist beispielsweise für Scanning-Anwendungen wichtig, bei denen es darum geht, eine bestimmte Position zu identifizieren und präzise wieder anzufahren.

Weiterführende Informationen finden Sie unter:

E-727.xF Digitaler Mehrkanal-Piezocontroller mit EtherCAT

 

Veröffentlicht am: 26. April 2019
Kategorie: Produktionstechnik